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ASML 구형 DUV 장비에 부품 조달해 성능 업그레이드중국 반도체 제조기업들이 ASML의 노후 장비를 개조해 첨단 AI 반도체 생산에 이용하고 있다고 파이낸셜타임즈(FT)가 19일 보도했다.
ASML은 네덜란드 소재의 반도체 노광장비 전문 기업이다.노광 공정은 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 기술로,반도체 제조 과정 중 가장 중요도가 높다고 평가받는다.최첨단 반도체 공정인 EUV(극자외선)와,이보다 한 단계 아래인 DUV(심자외선) 장비를 모두 양산하고 있다. ASML의 DUV 장비인 'NXT:1980Fi'(사진=ASML) 
현재 중국 반도체 기업들은 미국 및 네덜란드의 수출 통제로 ASML의 최첨단 DUV 및 EUV 장비를 도입할 수 없다.이로 인해 많은 중국 기업들은 7나노미터(nm) 급의 반도체 생산을 위해 'NXT:1980i' 등 구형 DUV 장비에 의존해야 했다.
그러나 중국 기업들은 자체적으로 우회책을 마련한 것으로 보인다.파이낸셜타임즈는 소식통을 인용해 "중국 반도체 제조기업들이 중고 시장에서 부품을 조달해 ASML의 DUV 장비에 적용했다"며 "반도체 웨이퍼를 올리는 스테이지,실시간 중계회로 정렬의 정밀도를 높이는 렌즈와 센서 등이 여기에 포함된다"고 밝혔다.
중국 반도체 제조기업들은 해당 부품을 해외에서 조달해,실시간 중계현지로 배송하는 방식을 활용했따.또한 제3자 기업들의 엔지니어링을 통해 기존 DUV 장비를 개조한 것으로 알려졌다.
파이낸셜타임즈는 "이러한 움직임은 중국 반도체 제조기업들이 중국의 기술적 성장을 저해하기 위해 마련된 수출 통제를 우회하는 방법을 모색하고 있음을 보여준다"고 논평했다.
이와 관련해 ASML은 "모든 관련 법률 및 규정을 완벽하게 준수하고 있다"며 "당사는 이러한 법적 틀 안에서 엄격하게 운영되며,실시간 중계고객이 법에서 허용하는 수준을 넘어 성능을 향상시킬 수 있도록 하는 시스템 업그레이드를 지원하지 않는다"고 밝혔다.
