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전직 ASML 엔지니어 투입해 EUV 시제품 완성…2028년 양산 목표
화웨이·국가 연구기관 총동원,“완전한 중국산 공급망” 지향
시험 단계 머물러 있지만…서방 예상보다 앞당겨진 기술 추격
중국이 서방의 기술 봉쇄를 정면으로 돌파하기 위한 초대형 반도체 프로젝트를 가동하며,첨단 반도체 패권 경쟁이 새로운 국면에 접어들고 있다.
중국 과학자들이 미국과 서방이 수년간 차단해 온 극자외선(EUV) 반도체 제조 기술의 핵심 장비 시제품을 자체 개발한 것으로 확인됐다.이는 인공지능(AI),스마트폰,첨단 무기 체계에 필수적인 초미세 반도체 생산의 핵심 기술로,그동안 네덜란드 ASML이 사실상 독점해왔다.
로이터통신은 17일(현지시간) 복수의 소식통을 인용해 중국이 선전(深圳)의 고보안 연구시설에서 EUV 노광 장비 시제품을 완성했으며,카지노 레즈현재 시험 가동 단계에 있다고 보도했다.해당 장비는 공장 한 층을 가득 채울 정도로 거대하며,2025년 초 완성된 것으로 전해졌다.
◆ 전직 ASML 엔지니어들,비밀 프로젝트에 합류
이 프로젝트는 전직 ASML 출신 엔지니어들이 주도한 것으로 알려졌다.이들은 네덜란드 본사의 EUV 기술을 바탕으로 장비를 역설계했으며,일부는 가명을 사용하고 위장 신분증을 발급받아 연구에 참여한 것으로 전해졌다.프로젝트는 국가 안보 사안으로 분류돼 외부에는 철저히 비공개로 진행됐다.
EUV 노광 기술은 머리카락 굵기보다 수천 배 얇은 회로를 실리콘 웨이퍼에 새길 수 있게 해 반도체 성능을 획기적으로 끌어올린다.현재 엔비디아,AMD가 설계하고 TSMC·삼성전자·인텔이 생산하는 최첨단 칩은 모두 ASML의 EUV 장비에 의존하고 있다.
◆ "2028년 목표,현실적으론 2030년"
중국의 EUV 시제품은 극자외선 광원 생성에는 성공했지만,아직 실제로 작동하는 칩을 생산하지는 못한 단계다.중국 정부는 2028년까지 해당 장비로 실질적인 반도체 생산을 목표로 하고 있으나,프로젝트 관계자들은 2030년이 보다 현실적인 시점이라고 보고 있다.
그럼에도 이는 기존 서방 전문가들이 예상한 '10년 이상 격차'보다 훨씬 빠른 속도라는 평가다.ASML 최고경영자(CEO) 크리스토프 푸케는 올해 초 "중국이 EUV 기술을 확보하려면 수십 년이 걸릴 것"이라고 밝힌 바 있다.
◆ 화웨이 중심의 '중국판 맨해튼 프로젝트'
이번 프로젝트는 시진핑 국가주석이 직접 강조해온 반도체 자립 전략의 정점으로 평가된다.중국 국영 언론에 따르면,해당 전략은 시 주석의 측근인 딩쉐샹이 이끄는 중앙과학기술위원회가 총괄하고 있다.
특히 화웨이는 칩 설계부터 장비 개발,생산과 제품 통합까지 전 과정에 깊이 관여하고 있다.일부 반도체 연구 인력은 보안 유지를 위해 현장에서 숙식하며,민감한 업무를 담당하는 팀은 외부 연락도 제한받는 것으로 전해졌다.프로젝트에 참여한 한 관계자는 "목표는 미국 기술이 전혀 개입되지 않은 완전한 중국산 반도체 생태계를 구축하는 것"이라고 말했다.
◆ 여전한 기술적 난관…광학 시스템이 관건
다만 중국은 여전히 핵심 난관에 직면해 있다.ASML의 EUV 장비에는 독일 자이스(Zeiss)가 공급하는 초정밀 광학 시스템이 필수적인데,중국은 이를 완전히 대체하지 못한 상태다.
중국과학원 산하 연구기관들은 자체 광학 기술 개발에 나서며 일부 성과를 냈지만,정밀도와 신뢰성 면에서는 아직 서방 기술에 미치지 못한다는 평가가 나온다.
◆ 서방의 봉쇄,그리고 우회 조달
중국은 중고 장비 시장과 경매를 통해 구형 ASML 장비와 부품을 확보하고 있으며,일본 니콘과 캐논의 일부 수출 제한 부품도 우회적으로 사용된 것으로 알려졌다.로이터는 2025년 10월에도 중국 내에서 ASML 구형 장비가 경매에 나온 사실을 확인했다고 전했다.
전문가들은 중국의 EUV 개발이 아직 갈 길이 멀지만,기술적 가능성 자체는 부인하기 어렵다고 평가한다.전 ASML 엔지니어 출신 분석가는 "이미 상용 EUV가 존재하는 상황에서 중국은 '무(無)에서 시작하는 단계'는 아니다"라고 말했다.
중국의 도전은 단순한 기술 개발을 넘어,글로벌 반도체 공급망과 지정학적 균형에 중대한 변수가 될 전망이다.AI와 군사 기술을 둘러싼 미·중 경쟁은 이제 반도체 제조 장비라는 가장 깊은 기술 심층부로 진입하고 있다.
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