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EFEM·웨이퍼 로봇 가동 효율 20% 향상
AI 기반 설계로 반도체 정밀기계 인재 양성

김효영 한국공학대 메카트로닉스공학부 교수.
한국공학대학교(총장 황수성)는 김효영 메카트로닉스공학부 교수의 연구 성과가 대학지원체계사업(RISE)을 통해 지역 산업과 연계된 상생형 산학협력 모델로 주목받고 있다고 24일 밝혔다.

김 교수 연구팀은 대학이 수주한 연구과제를 기반으로 지역 기업의 현장 수요를 반영한 기술이전을 추진해 총 2억2000만원 규모 성과를 창출했다.

핵심 성과는 반도체 장비 분야다.연구팀은 '티에프씨랩' 기술 수요를 반영해 반도체 웨이퍼 이송로봇의 동작 이상과 정렬 오차를 실시간으로 감지·보정하는 기술을 확보했다.변위·진동·기울기 센서를 활용한 정밀 상태 감시와 로봇-로드포트 간 위치 오차 자동 보정 코칭 시스템을 결합해 이상 징후를 조기에 인지하고 계획 정비를 가능하게 했다.

해당 기술은 EFEM,로드포트,포커 용품웨이퍼 이송로봇의 이상 상태를 사전에 관리해 장비 가동 효율을 높이고 공정 불량을 줄이는 효과가 현장에서 입증됐다.생산성 개선 효과가 확인되면서 기술의 완성도와 적용성이 인정됐고,포커 용품중대형 기술이전 계약으로 이어졌다.

티에프씨랩은 이 기술이전을 통해 웨이퍼 이송로봇 유지·보수 분야의 핵심 기술 경쟁력을 확보하고,신규 제품 개발과 시장 확대의 기반을 마련했다.한국공학대 EH(Engineering House) 내 기업부설연구소를 설립해 공동 연구개발과 현장 실증,전문 인력 양성을 연계하는 상시 협업 체계도 구축했다.

산학협력 성과는 인재양성으로 확산되고 있다.김 교수 연구팀은 RISE 협약 과제로 선정된 'AI 기반 유동열 해석 데이터를 활용한 Linear Air Bearing 최적설계 기술 개발'을 수행하며,기업 수요 기반 공동연구를 추진 중이다.현장실습과 캡스톤디자인을 통해 반도체 공정용 정밀기계·자동화 장비를 개발하는 기업 '디엠티'와 협업해 학생이 실제 산업 데이터를 활용한 AI 해석과 정밀기계 설계·해석 역량을 현장에서 습득하도록 지원하고 있다.

김효영 교수는 “RISE 사업은 대학 연구성과를 지역 산업과 연결하는 핵심 제도”라며 “산학협력과 기술이전,인재양성을 연계해 지역 산업 경쟁력 강화에 기여하겠다”고 말했다.

시흥=김동성 기자

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